发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH11121435(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970275742 申请日期 1997.10.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OGAWA SATOSHI
分类号 C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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