| 发明名称 |
OBJECT TO BE INSPECTED FOR CALIBRATION, MANUFACTURE THEREOF, CALIBRATION METHOD OF INSPECTION INSTRUMENT AND INSPECTION INSTRUMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11118677(A) |
申请公布日期 |
1999.04.30 |
| 申请号 |
JP19970280159 |
申请日期 |
1997.10.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
INOUE HIROKO;SUGIMOTO ARITOSHI;IKODA MASAMI;TAGUCHI JUNICHI |
| 分类号 |
G01N1/00;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;(IPC1-7):G01N1/00 |
主分类号 |
G01N1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
