发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11121757(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970286343 申请日期 1997.10.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MATSUSHIRO TOMOKO
分类号 H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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