| 发明名称 |
SURFACE CONFIGURATION RECOGNITION SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11121829(A) |
申请公布日期 |
1999.04.30 |
| 申请号 |
JP19970277185 |
申请日期 |
1997.10.09 |
| 申请人 |
TOKAI RIKA CO LTD |
发明人 |
ITOIGAWA KOICHI;IWATA HITOSHI;HORIBA TAMOTSU |
| 分类号 |
G01B7/28;G01B7/00;H01L43/02;(IPC1-7):H01L43/02 |
主分类号 |
G01B7/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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