| 发明名称 |
PRESSURE CONTROL ABNORMALITY DETECTION DEVICE FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11119839(A) |
申请公布日期 |
1999.04.30 |
| 申请号 |
JP19970286326 |
申请日期 |
1997.10.20 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SAITO TAKESHI;YOKOGAWA KAZUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/02;G05D16/20;(IPC1-7):G05D16/20 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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