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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11121455(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970281538 申请日期 1997.10.15
申请人 NEC CORP 发明人 INABA TAKASHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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