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发明名称 METHODE ZUR MASKIERUNG ZUR VERWENDUNG IN EINEM SALIZID-VERFAHREN
摘要
申请公布号 DE69508493(D1) 申请公布日期 1999.04.29
申请号 DE19956008493 申请日期 1995.01.20
申请人 NATIONAL SEMICONDUCTOR CORP., SUNNYVALE, CALIF., US 发明人 GRUBISICH, MICHAEL, SAN JOSE, CA 95128, US;BLAIR, CHRISTOPHER, S., SAN JOSE, CA 95131, US
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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