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发明名称 Plasmarektor mit Prallströmung zur Oberflächenbehandlung
摘要
申请公布号 DE19727857(C1) 申请公布日期 1999.04.29
申请号 DE19971027857 申请日期 1997.06.30
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 80636 MUENCHEN, DE 发明人 ELKINE, BENTSIAN, 70599 STUTTGART, DE;MEYER, JOACHIM, 71106 MAGSTADT, DE;OEHR, CHRISTIAN, DR., 72160 HORB, DE
分类号 C23C16/455;H01J37/32;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
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