发明名称 Herstellung von hochreinen Siliziumstäben
摘要
申请公布号 DE69130556(T2) 申请公布日期 1999.04.29
申请号 DE19916030556T 申请日期 1991.09.19
申请人 KAWASAKI STEEL CORP., KOBE, HYOGO, JP;SUMITOMO SITIX OF AMAGASAKI, INC., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ARATANI, FUKUO, TECH.RES.DIV. KAWASAKI STEELCORP., CHIBA-SHI, CHIBA-KEN 260, JP;KANEKO, KYOJIRO, OSAKA TITANIUM COMPANY LTD, AMAGASAKI-SHI, HYOGO-KEN 660, JP
分类号 C01B33/037;B22D11/11;C30B11/00;C30B13/00;H01L21/208;H01L31/04;(IPC1-7):C30B11/00;B22D11/10 主分类号 C01B33/037
代理机构 代理人
主权项
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