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发明名称 Vorrichtung zur Detektion einer Verschiebung
摘要
申请公布号 DE69321329(T2) 申请公布日期 1999.04.29
申请号 DE19936021329T 申请日期 1993.12.23
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KANEDA, YASUSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO 146, JP;ISHIZUKA, KOH, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO 146, JP;KONDO, HIROSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO 146, JP;ISHII, SATOSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO 146, JP
分类号 G01B11/00;G01B11/24;G01D5/38;G01P3/36;(IPC1-7):G01D5/38;G01B9/02 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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