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发明名称 Verfahren für den Betrieb eines Hochleistungs-Elektronenstrahls
摘要
申请公布号 DE19745771(A1) 申请公布日期 1999.04.29
申请号 DE19971045771 申请日期 1997.10.16
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 BAEHR, MARTIN, DR.RER.NAT., 91729 HAUNDORF, DE;LAUX, ERIK, DIPL.-ING., 63526 ERLENSEE, DE
分类号 C23C14/30;H01J37/302;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/305 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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