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发明名称 VARIABLE ANNULAR ILLUMINATOR FOR PHOTOLITHOGRAPHIC PROJECTION IMAGER.
摘要
申请公布号 EP0648348(B1) 申请公布日期 1999.04.28
申请号 EP19940910743 申请日期 1994.02.25
申请人 GENERAL SIGNAL CORPORATION 发明人 DEWA, PAUL, G.;MICHALOSKI, PAUL, F.;TOMPKINS, PAUL, J.;PARTLO, WILLIAM, N.
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/34 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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