热敏打印头、热敏打印头的制造方法、记录装置、烧结体及靶

摘要

在利用溅射法制造热记录头的保护层和发热电阻体底层的方法中,靶是氮化硅·二氧化硅·氧化镁粉状体的烧结体,通过调整该粉状体的粒径,防止溅射过程中靶的一部分剥离。

主权项

1．一种热敏打印头，其特征在于，备有：支撑基体；配置在上述支撑基体上的发热电阻体；与上述发热电阻体连接的电极；以及将含有氮化硅、二氧化硅及平均粒径在1.0微米以下的氧化镁的粉状体的烧结体作为靶、通过溅射形成了被覆在上述发热电阻体及上述电极上的保护层。