| 发明名称 | 合成石英玻璃制造方法 | ||
| 摘要 | 控制高沸点硅化合物向合成炉的导入量,其方法是将压送气体送入液体原料泵10;将沸点高的有机硅化合物的原料液32通过液体流量计20供给气化器12。此原料液32送往气化器12的导入量由液体流量计20控制。在气化器12中,将雾化了的原料液32同输送气体相混合,再以高过有机硅化合物沸点10℃以上的高温加热,由此生成原料气体,再将其导入合炉14。 | ||
| 申请公布号 | CN1215031A | 申请公布日期 | 1999.04.28 |
| 申请号 | CN98120254.3 | 申请日期 | 1998.10.08 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 藤原诚志;小峰典男;神保宏树 |
| 分类号 | C03B11/00;C03B20/00 | 主分类号 | C03B11/00 |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王维玉 |
| 主权项 | 1．合成石英玻璃制造方法，其特征是将由硅化合物组成的原料液导入气化器，再将前述气化器中前述原料液气化后的原料气体导入合成炉，此时，用液体流量计将前述原料液向前述气化器的导入量进行控制。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||