发明名称 PURIFYING METHOD OF INACTIVE GAS AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11116215(A) 申请公布日期 1999.04.27
申请号 JP19970274718 申请日期 1997.10.07
申请人 ARAKI GIKEN KOGYO KK 发明人 ARAKI KATSUTERU
分类号 C01B23/00;(IPC1-7):C01B23/00 主分类号 C01B23/00
代理机构 代理人
主权项
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