| 发明名称 |
POLYSILAZANE-CONTAINING COMPOSITION AND FORMATION OF SILICEOUS FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11116815(A) |
申请公布日期 |
1999.04.27 |
| 申请号 |
JP19970285197 |
申请日期 |
1997.10.17 |
| 申请人 |
TONEN CORP |
发明人 |
AOKI TOMOKO;SHIMIZU YASUO;FUNAYAMA TORU |
| 分类号 |
C08K5/34;C08L83/16;(IPC1-7):C08L83/16 |
主分类号 |
C08K5/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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