| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON SINGLE CRYSTAL WITH LITTLE CRYSTAL DEFECT, SILICON SINGLE CRYSTAL PRODUCED THEREBY, AND SINGLE WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11116391(A) |
申请公布日期 |
1999.04.27 |
| 申请号 |
JP19970303483 |
申请日期 |
1997.10.17 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
IIDA MAKOTO;IINO EIICHI;KIMURA MASAKI;MURAOKA SHOZO |
| 分类号 |
C30B15/20;C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B15/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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