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发明名称 MANUFACTURE OF MOLD, METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING FINE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH11114967(A) 申请公布日期 1999.04.27
申请号 JP19970288557 申请日期 1997.10.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NISHIYAMA SHUSAKU
分类号 B23D1/08;B29C33/38;B29C39/26;(IPC1-7):B29C33/38 主分类号 B23D1/08
代理机构 代理人
主权项
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