| 发明名称 |
DAIKIBOSHUSEKIKAIROYOFUOTOMASUKUNO KENSAHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5160455(A) |
申请公布日期 |
1976.05.26 |
| 申请号 |
JP19740133680 |
申请日期 |
1974.11.22 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
INOMATA SUEKICHI |
| 分类号 |
H01L21/30;C23F1/00;G01B11/24;G03F1/00;G03F1/84;G03F9/00;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/66;H01L21/82;H05K3/00 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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