| 发明名称 |
SINGLE CRYSTAL-PRODUCING APPARATUS AND PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11116378(A) |
申请公布日期 |
1999.04.27 |
| 申请号 |
JP19970303307 |
申请日期 |
1997.10.20 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
KUROSAKA SHOEI;TOMIOKA JUNSUKE |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B15/32;H01L21/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/32 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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