| 发明名称 |
Cathode mounting for ion source with indirectly heated cathode |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG64450(A1) |
申请公布日期 |
1999.04.27 |
| 申请号 |
SG19970003742 |
申请日期 |
1997.10.14 |
| 申请人 |
EATON CORPORATION. |
发明人 |
HORSKY THOMAS NEIL;REYNOLDS WILLIAM EDWARD;CLOUTIER RICHARD MAURICE |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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