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发明名称
FORMATION OF THIN FILM BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号
JPH11117069(A)
申请公布日期
1999.04.27
申请号
JP19970278869
申请日期
1997.10.13
申请人
SEKISUI CHEM CO LTD
发明人
HINO MAMORU;YARA TAKUYA
分类号
C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/40
主分类号
C23C16/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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