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发明名称 FURNACE FOR PULLING SILICON SINGLE CRYSTAL BY CZ METHOD, AND HEATER THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11116390(A) 申请公布日期 1999.04.27
申请号 JP19970290558 申请日期 1997.10.08
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 SUZUKI OSAMU
分类号 H05B3/20;C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208;H05B3/14;(IPC1-7):C30B29/06 主分类号 H05B3/20
代理机构 代理人
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