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发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXIAL APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11116380(A) 申请公布日期 1999.04.27
申请号 JP19970288253 申请日期 1997.10.21
申请人 SONY CORP 发明人 TAMAMURA KOJI
分类号 C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/08 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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