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发明名称
摘要
申请公布号
JPH11504768(A)
申请公布日期
1999.04.27
申请号
JP19970530947
申请日期
1997.01.29
申请人
发明人
分类号
G11C16/02;G11C11/56;G11C16/04;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/423;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824
主分类号
G11C16/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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