发明名称 CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH11108392(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970269540 申请日期 1997.10.02
申请人 TAKENAKA KOMUTEN CO LTD;TAKASAGO THERMAL ENG CO LTD 发明人 TANIGUCHI KAZUTO;IWASHITA YASUHIRO;YAKABE HIROSHI;TAURA SHOZO;HAYASHIDA KAZUO
分类号 F24F3/044;F24F7/06;(IPC1-7):F24F3/044 主分类号 F24F3/044
代理机构 代理人
主权项
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