| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11111616(A) |
申请公布日期 |
1999.04.23 |
| 申请号 |
JP19980041728 |
申请日期 |
1998.02.24 |
| 申请人 |
LG SEMICON CO LTD |
发明人 |
BYUN JEONG SOO;LEE BYUNG HAK |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/28;H01L21/8238;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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