| 发明名称 |
LASER ABRASION TYPE ION SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11111185(A) |
申请公布日期 |
1999.04.23 |
| 申请号 |
JP19970287956 |
申请日期 |
1997.10.03 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
HORINO YUJI;MIHARA TOSHIYUKI;CHIYATANIHARA AKIYOSHI;KINOMURA ATSUSHI;TSUBOUCHI NOBUTERU |
| 分类号 |
C23C14/32;C23C14/48;H01J27/24;H01J37/05;H01J37/08;H01J49/16;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/24 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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