发明名称 FORMATION OF CAPACITY PART IN SEMICONDUCTOR DEVICE, AND FORMATION OF CAPACITY AND GATE PARTS IN THE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11111857(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970268948 申请日期 1997.10.01
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ASAMI JIYUNKO
分类号 H01L27/092;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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