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发明名称
FORMATION OF CAPACITY PART IN SEMICONDUCTOR DEVICE, AND FORMATION OF CAPACITY AND GATE PARTS IN THE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11111857(A)
申请公布日期
1999.04.23
申请号
JP19970268948
申请日期
1997.10.01
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
ASAMI JIYUNKO
分类号
H01L27/092;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/823
主分类号
H01L27/092
代理机构
代理人
主权项
地址
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