| 发明名称 |
METHOD OF EVALUATING RELIABILITY OF INSULATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF EVALUATING SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11111793(A) |
申请公布日期 |
1999.04.23 |
| 申请号 |
JP19970270199 |
申请日期 |
1997.10.02 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
NAKANISHI TOSHIO;SASAKI MASARU;OKUMURA NOBUO |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;H02N13/00;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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