| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11111720(A) |
申请公布日期 |
1999.04.23 |
| 申请号 |
JP19970270845 |
申请日期 |
1997.10.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAHO NORIHIDE;HIRASAWA SHIGEKI;ISOKAMI HISASHI;MORITA MINORU |
| 分类号 |
C23C14/22;H01L21/203;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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