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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH11112098(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970265941 申请日期 1997.09.30
申请人 NEC CORP 发明人 ATSUI OAKI
分类号 H01L21/205;H01S5/00;H01S5/12;H01S5/343;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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