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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11111841(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970264769 申请日期 1997.09.30
申请人 NEC CORP 发明人 ABIKO HITOSHI
分类号 H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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