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发明名称
SUBSTRATE FLATNESS-MEASURING INSTRUMENT
摘要
申请公布号
JPH11108644(A)
申请公布日期
1999.04.23
申请号
JP19970290313
申请日期
1997.10.07
申请人
NIPPON STEEL CORP
发明人
YOSHIDA TAKAFUMI
分类号
G01B11/30;H01L21/304;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/30
主分类号
G01B11/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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