发明名称 |
INSPECTION METHOD FOR INORGANIC SEPARATION FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11108918(A) |
申请公布日期 |
1999.04.23 |
申请号 |
JP19970284506 |
申请日期 |
1997.10.01 |
申请人 |
NORITAKE CO LTD |
发明人 |
KATO MASAKI;ANDO TAISUKE;TAGUCHI HISATOMI |
分类号 |
G01B11/30;G01N21/01;G01N21/27;G01N21/88;G01N33/00;(IPC1-7):G01N33/00 |
主分类号 |
G01B11/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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