发明名称 INSPECTION METHOD FOR INORGANIC SEPARATION FILM
摘要
申请公布号 JPH11108918(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970284506 申请日期 1997.10.01
申请人 NORITAKE CO LTD 发明人 KATO MASAKI;ANDO TAISUKE;TAGUCHI HISATOMI
分类号 G01B11/30;G01N21/01;G01N21/27;G01N21/88;G01N33/00;(IPC1-7):G01N33/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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