发明名称 SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11111931(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970289077 申请日期 1997.10.06
申请人 NEC CORP 发明人 ONDA KAZUHIKO;WAKEJIMA AKIO
分类号 H01L21/265;H01L21/338;H01L27/10;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L27/10 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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