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发明名称 MOSFET OVERLAP LENGTH MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11108985(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970265821 申请日期 1997.09.30
申请人 NEC CORP 发明人 TAMEGAYA YUKIO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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