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发明名称 CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11111619(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970266783 申请日期 1997.09.30
申请人 NIPPON SEISAN GIJUTSU KENKYUSHO:KK 发明人 GOMI YASUAKI;SHIYOU TADASHI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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