| 发明名称 |
HEATING ELEMENT MADE OF SILICON AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS USING THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11111628(A) |
申请公布日期 |
1999.04.23 |
| 申请号 |
JP19970282639 |
申请日期 |
1997.09.30 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
KAWAI MAKOTO;KOBAYASHI TOSHIMI;TAMURA KAZUYOSHI;GOTO KEIICHI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
