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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11111691(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970270103 申请日期 1997.10.02
申请人 SONY CORP 发明人 KIMURA TADAYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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