发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11111723(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970265575 申请日期 1997.09.30
申请人 NEC CORP 发明人 HORIKAWA TSUGUHIRO
分类号 H01L21/322;H01L21/28;H01L21/316;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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