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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11111753(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970268548 申请日期 1997.10.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MIZUTA MASAHARU
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/60;H01L23/485;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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