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发明名称 Verfahren zur Bildung von Beschichtungen aus kristallinem Siliziumcarbid
摘要
申请公布号 DE69413138(T2) 申请公布日期 1999.04.22
申请号 DE1994613138T 申请日期 1994.06.23
申请人 DOW CORNING CORP., MIDLAND, MICH., US 发明人 LOBODA, MARK JON, MIDLAND, MICHIGAN, US
分类号 C30B25/00;C30B25/02;H01L21/205 主分类号 C30B25/00
代理机构 代理人
主权项
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