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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Markierung
摘要
申请公布号 DE69227137(T2) 申请公布日期 1999.04.22
申请号 DE1992627137T 申请日期 1992.02.18
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 DOUGLAS, MONTE A., COPPELL, TEXAS 75019, US;STOLTZ, RICHARD A., PLANO, TEXAS 75025, US
分类号 C23F4/00;C23C16/04;G03C5/58;G03F1/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/08 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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