发明名称 Belichtungsvorrichtung unter Verwendung von einem katadioptrischen Projektionssystem
摘要
申请公布号 DE69321814(T2) 申请公布日期 1999.04.22
申请号 DE1993621814T 申请日期 1993.12.13
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TAKAHASHI, KAZUHIRO, C/O KOSUGI JIGYOSHO, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;MURAKI, MASATO, C/O KOSUGI JIGYOSHO, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G02B17/08;G02B27/28;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G02B17/08
代理机构 代理人
主权项
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