发明名称 OSCILLATION GYRO EQUIPPED WITH THIN PZT FILM
摘要 <p>L'invention a trait à un gyroscope oscillant (1) comportant une base en acier inoxydable (4) sous forme de prisme quadratique. Dans cette base (4) sont ménagés des trous traversant (10, 7) se croisant à angle droit au niveau de leurs parties supérieure et inférieure, respectivement. Cette base comporte également des plaques latérales (8, 9) et (10, 11) constituant, respectivement, des parties planes parallèles (2) et (3). On dépose, de préférence une couche au titane (13) par pulvérisation cathodique sur chacune des faces latérales extérieures des parties planes parallèles (2, 3) puis l'on forme une couche mince au PZT (14) sur toute la face extérieure de la couche au titane (13). On forme des paires de films électrode (15, 16) en aluminium sur les films au PZT (14) respectifs, au-dessus et au-dessous. Ces films électrode (15, 16), qui sont de superficie identique, ont une épaisseur de plusieurs νm. On met en place des plages de connexion (15b, 16b) sur les extrémités inférieures de la base (4) qui font office d'extrémités fixes et sont raccordés à des parties d'extension (15a, 16a) partant du film électrode (15). Des fils de connexion (19) raccordés aux plages de connexion (15b, 16b) permettent de supprimer toute variation en matière de rigidité des plaques planes parallèles (2, 3) qui serait occasionnée par leur connexion.</p>
申请公布号 WO1999019688(P1) 申请公布日期 1999.04.22
申请号 JP1998004498 申请日期 1998.10.06
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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