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发明名称 Bromine-Ätzverfahren für Silizium
摘要
申请公布号 DE3752259(D1) 申请公布日期 1999.04.22
申请号 DE19873752259 申请日期 1987.12.18
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 WONG, JERRY YUEN KUI, UNION CITY CALIFORNIA 94587, US;CHANG, MEI, SAN JOSE CALIFORNIA 95132, US;MAYDAN, DAN, LOS ALTOS HILLS CALIFORNIA 94022, US;WANG, DAVID NIN-KOU, CUPERTINO CALIFORNIA 95014, US;MAK, ALFRED W. S., UNION CITY CALIFORNIA 94587, US
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/306;H01J37/32 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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