激光束双聚焦点单面激光加工技术

摘要

本发明是一种双激光束单面激光加工技术,涉及激光加工技术。本发明通过一个光学聚焦系统改变双光束聚焦点之间相对空间位置,双光束聚焦点半径的相对大小,两个光束聚焦点的空间横截面的能量分布,两个光束聚焦点的空间分布形状和两个光束聚焦点的相对空间深度,可提高加工深度,改善激光加工质量和实现激光加工中的特殊要求。

主权项

1．一种激光束双聚焦点单面激光加工技术，其特征在于该光学聚焦系统为具有两组不同聚焦半径的反射式聚焦系统将整形和扩束后的双光束激光分别聚焦形成具有两个聚焦点的复合光束，并通过改变两个反射聚焦镜或聚焦透镜的不同曲率面的曲率分布参数和空间相对位置，可形成具有所需的聚焦点相对空间位置，所需的聚焦点光束截面大小，所需的聚焦点空间横截面的能量分布，所需的聚焦点空间分布形状和所需的相对空间深度的两个光束聚焦点的复合光束。