发明名称 SOPPORTO PER FETTA DI MATERIALE SEMICONDUTTORE CON CONTATTO MINIMO.
摘要
申请公布号 ITTO980879(A1) 申请公布日期 1999.04.21
申请号 IT1998TO00879 申请日期 1998.10.16
申请人 FLUOROWARE, INC. 发明人 ADAMS MICHAEL S.;BHATT SANJIV M.;EGGUM SHAWN D.;NYSETH DAVID L.;WISEMAN BRIAN S.
分类号 H01L;H01L21/673 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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