| 发明名称 | 电子束装置、图象形成装置、组件以及它们的制造方法 | ||
| 摘要 | 一种电子束装置,有带有电子发射部分的第一基板,面对第一基板的第二基板,和在第一和第二基板之间设置的元件,其中,至少在元件的表面上形成氮化碳,以抑制元件上的电荷,或抑制电荷量的变化,从而抑制电子束轨道偏离期望的轨道。 | ||
| 申请公布号 | CN1214527A | 申请公布日期 | 1999.04.21 |
| 申请号 | CN98117973.8 | 申请日期 | 1998.07.31 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 黑田和生;高木博嗣;大栗宣明 |
| 分类号 | H01J31/10;H01J31/12 | 主分类号 | H01J31/10 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1．一种电子束装置，包括：带有电子发射部分的第一基板；面对所述第一基板的第二基板；和在所述第一和第二基板之间设置的第一元件，其中，在所述第一元件的表面上形成氮化碳。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||